Giới thiệu Sách - Thiết Kế Và Chế Tạo Các Bộ Vi Chấp Hành Dựa Trên Công Nghệ Vi Cơ Điện Tử MEMS
Sách - Thiết Kế Và Chế Tạo Các Bộ Vi Chấp Hành Dựa Trên Công Nghệ Vi Cơ Điện Tử MEMS Tác giả Phạm Hồng Phúc (Chủ biên) - Nguyễn Tiến Dũng - Hoàng Trung Kiên Nhà xuất bản NXB Khoa Học Và Kỹ Thuật Đơn vị phát hành NXB Khoa Học Và Kỹ Thuật Ngày xuất bản 10-2020 Số trang 168 Kích thước 16 x 24 cm Loại bìa Bìa mềm Nội dung "Nội dung sách gồm: Chương 1: Giới thiệu về bộ vi chấp hành MEMS Chương 2: Thiết kế bộ vi chấp hành kiểu tĩnh điện răng lược Chương 3: Thiết kế bộ vi chấp hành kiểu điện nhiệt chữ V Chương 4: Công nghệ chế tạo các bộ vi chấp hành Chương 5: Mô hình hóa và điều khiển bộ vi chấp hành"